X熒光光譜儀分析模式及優點

發布日期：2019-10-22 11:04:51 來源：互聯網

X熒光光譜儀一般有以下三點分析模式：

1、點分析

將電子探針固定在試樣感興趣的點上，進行定性或定量分析。該方法用于顯微結構的成份分析，例如，對材料晶界、夾雜、析出相、沉淀物、奇異相及非化學計量材料的組成等分析。

2、線分析

電子束沿一條分析線進行掃描(或試樣掃描) 時，能獲得元素含量變化的線分布曲線。如果和試樣形貌像(二次電子像或背散射電子像)對照分析,能直觀地獲得元素在不同相或區域內的分布。沿感興趣的線逐點測量成分，也可以劃出該線的成分變化曲線。

3、面分析

將電子束在試樣表面掃描時，元素在試樣表面的分布能在CRT上以亮度分布顯示出來（定性分析)，亮度越亮，說明元素含量越高。研究材料中雜質、相的分布和元素偏析常用此方法。面分布常常與形貌像對照分析。

點、線、面分析方法用途不同，檢測靈敏度也不同，定點分析靈敏度，面掃描分析靈敏度。

X熒光光譜儀分析方法有以下優點：

1、分析速度高，測定用時與測定精密度有關，但一般都很短，2～5分鐘就可以測完樣品中的全部待測元素。

2、X射線熒光光譜跟樣品的化學結合狀態無關，而且跟固體、粉末、液體及晶質、非晶質等物質的狀態也基本上沒有關系。但是在高分辨率的精密測定中卻可看到有波長變化等現象。特別是在超軟X射線范圍內，這種效應更為顯著。

3、非破壞分析：在測定中不會引起化學狀態的改變，也不會出現試樣飛散現象。同一試樣可反復多次測量，結果重現性好。

4、X熒光光譜儀分析是一種物理分析方法，所以對在化學性質上屬同一族的元素也能進行分析。

5、X熒光光譜儀的分析精密度高。

6、制樣簡單，固體、粉末、液體樣品等都可以進行分析。

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